高精度MEMS 陀螺仪产业分析( 20 页)

    2023-08-20

高精度MEMS 陀螺仪产业分析( 20 页)


目录

1 MEMS陀螺仪工作原理 ...... 4

1.1 用科里奥利力测量角速度 ....... 4

1.2 用MEMS实现:静电驱动、电容检测 ...... 5

2 高精度与消费级MEMS陀螺仪的主要区别 ...... 6

2.1 高精度MEMS陀螺仪的四大应用领域 ...... 7

2.2 不同精度MEMS陀螺仪的结构差异 .... 8

3 MEMS与ASIC制备、封装工艺与测试 ...... 9

3.1 MEMS工艺 ....... 10

3.2 ASIC工艺 ....... 15

3.3 封装工艺 .... 15

3.4 测试 ....... 16

4 MEMS陀螺仪产业链 ....... 16

4.1 MEMS陀螺仪产业链及相关企业...... 16

4.2 国内MEMS陀螺仪性能指标对比 ..... 18

5 风险提示 .... 19

图表目录

图表1: 科里奥利力原理 ..... 4

图表2: 典型MEMS 陀螺仪结构 .... 6

图表3: 各类别陀螺仪的主要应用领域、主要技术、代表厂商...... 6

图表4: 高性能MEMS 惯性传感器的四大应用领域 ...... 7

图表5: 陀螺技术应用现状 ....... 7

图表6: 陀螺技术应用远景 ....... 7

图表7: 单质量块陀螺仪示意图 ....... 8

图表8: 双质量块陀螺仪示意图 ....... 8

图表9: MEMS 惯性器件的发展 .... 9

图表10: 国内外相关企业先进MEMS 陀螺仪结构及零偏稳定性 ..... 9

图表7:湿法SOG 工艺 ....... 11

图表8:湿法SOG 工艺制作的MEMS 陀螺仪SEM 照片 ...... 11

图表11: 干法SOG 工艺 ..... 11

图表12: 正面体硅工艺 ..... 12

图表13: 体硅SOI 工艺 ..... 13

图表14: 表面硅工艺 ....... 14

图表15: 硅MEMS 工艺对比 ...... 14

图表16: 圆片级封装示意图 ..... 15

图表17: 3D 集成示意图 .... 16

图表18: MEMS 陀螺仪产业链 .... 18

图表19: 国内MEMS 陀螺仪相关企业及典型产品性能 .... 19


[报告关键词]:   MEMS    陀螺仪  
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