光刻龙头ASML发展分析报告( 52 页)

光刻龙头ASML发展分析报告( 52 页)


目 录

1 提要:光刻工艺是晶圆制造最核心环节,光刻产业链协同发展成为光刻机突破关键因子 ...... 1

1.1 光刻定义晶体管尺寸,光刻工艺合计占芯片成本近30% ............. 1

1.2 区别于其他晶圆制造设备,光刻机独有自身产业链概念 ............. 4

2 复盘:ASML 如何通过光刻产业链垄断全球光刻机市场 ....... 7

2.1 ASML 成立之前:光刻机即将进入准分子激光时代,美国三雄称霸光刻市场 ...... 7

2.2 1984-2000:PAS5500 帮助公司立足全球光刻市场 ...... 8

2.3 2001-2010:双工作台技术提升效率,先发浸没式系统打败尼康、佳能 ..... 9

2.4 2010-至今:打通EUV 光刻产业链,成为全球EUV 光刻机独家供应商 ...... 13

3 探寻:02 专项加码关键技术突破,本土光刻产业链构建正当时 ......... 17

3.1 光刻机组件:“02 专项”强化国产物镜、光源、浸没式系统等高端光刻组件 ............ 19

3.2 配套光刻胶:ArFi、EUV 光刻胶初见锋芒,南大光电领衔国内公司加速国产替代 ..... 22

3.3 配套光刻气:决定分辨率范围,华特气体、凯美特气完善国内光刻气链条 ...... 29

3.4 配套光罩:光罩占半导体材料市场份额13%,高世代光罩实现突破 ......... 31

3.5 配套设备:涂胶显影设备为光刻必要环节,检测设备成为提升良率关键 .......... 35

4 希冀:本土光刻产业链协同发展,上海微电子下一代光刻机突破在即 ....... 41

4.1 晶圆前道光刻机制程达90nm,封装、LED、面板光刻机市占率较高 ........ 41

4.2 国产光刻链的打通助力上海微电子下一代光刻机突破 ...... 43

5 推荐标的 ....... 44

图 目 录

图1:19 年全球半导体市场规模达4090 亿美元 .......... 1

图2:数码产业占全球企业总产值的41%,半导体成为数码产业基石 .......... 2

图3:半导体芯片制造工艺流程图 ...... 2

图4:光刻工艺流程较多,占晶圆制造耗时的40%-50% ...... 4

图5:ASML 今年来在国内晶圆厂中频繁中标 ...... 6

图6:步进扫描式技术可大幅提高产能 ....... 7

图7:1980 年代末美国光刻机“三巨头”被收购或被迫转型 ...... 8

图8:PAS5500 系列各型号光刻机介绍 ........ 9

图9:2000 年之前为ASML 快速增长期 ....... 9

图10:1999 年新兴市场已经占据ASML 总收入相当大比例 ......... 9

图11:Twinscan 双工件台结构示意图 ....... 10

图12:浸没式光刻可大大缩短等效波长 ............ 10

图13:尼康推出的ArF 浸没式光刻机可靠性与ASML 差距较大 .......... 11

图14:Twinscan NXT: 2000i 配合先进工艺与材料可实现7nm 制程 ..... 12

图15:ASML 目前的Twinscan NXT 系列光刻机........... 12

图16:2009 年金融危机后ASML 营收强势反弹 ......... 13

图17:浸没式系统帮助ASML 毛利率与净利率提升 ........... 13

图18:2010 年ASML 净利润达13.6 亿美元 ....... 13

图19:2001-2010 年ASML 光刻机销量全球占比提升 ......... 13

图20:EUV 光源结构示意图 ..... 14

图21:ASML 在售的EUV 光刻机包括NXE:3300B 和NXE:3400C 两种机型 ............ 15

图22:2019 年ASML 营收屡创新高 ........... 16

图23:2011-2019 年ASML 净利率维持在20%以上 ............. 16

图24:2011-2019 年ASML EUV 销量与单价齐升 ........ 17

图25:2019 年ASML EUV 光刻机单价为ArFi 两倍 ..... 17

图26:国科精密Epolith A075 曝光系统(物镜组)分辨率达到90nm ........ 19

图27:启尔机电浸没式系统研发总体方案 ........ 20

图28:华卓精科双工件台样机打破ASML 垄断 .......... 21

图29:福晶科技的部分产品已向ASML 供货 ..... 22

图30:2019 年南大光电营收3.21 亿元,同比+40.9% ........ 24

图31:2019 年南大光电归母净利润0.6 亿元,同比+7.4% ......... 24

图32:南大光电19 年毛利率与净利率分别约为44%和19% ..... 24

图33:南大光电19 年特气类占收入比例约为52% ............ 24

图34:2019 年晶瑞股份营收7.6 亿元,同比-6.8% ............. 25

图35:2019 年晶瑞股份业绩短期承压 ...... 25

图36:晶瑞股份19 年毛利率与净利率分别约为27%和5% ....... 25

图37:晶瑞股份19 年光刻胶占收入比例约为11% ............ 25

图38:雅克科技近5 年营收总体稳定增长 ........ 26

图39:2019 雅克科技归母净利润同比+120.2% .......... 26

图40:雅克科技近2 年毛利率与净利率大幅提升 ..... 26

图41:2019 年雅克科技半导体前驱体材料占收入比例约为27% ....... 26

图42:2019 年容大感光营业收入4.6 亿元,同比+7.6% ............. 27

图43:2019 年容大感光业绩短期承压 ...... 27

图44:容大感光近5 年毛利率与净利率总体保持稳定 ...... 27

图45:容大感光近5 年光刻胶占收入比例逐年上升 .......... 27

图46:2019 年上海新阳营收6.4 亿元,同比+14.5% .......... 28

图47:2019 年上海新阳归母净利润2.1 亿元,同比大幅增长 ............ 28

图48:2019 年上海新阳毛利率与净利率分别约为32%和33% ........... 28

图49:2019 年上海新阳涂料品收入占比58.4% ......... 28

图50:华特气体与凯美特气突破国内光刻用气进口制约 ........... 29

图51:华特气体近5 年营收总体稳定 ....... 30

图52:2019 年华特气体归母净利润0.7 亿元,同比+7.0% ......... 30

图53:2019 年华特气体毛利率35.4% ....... 30

图54:2019 年华特气体光刻及其他混合气体收入占比10% ...... 30

图55:2019 年凯美特气营收5.1 亿元,同比+2.0% ............ 31

图56:2019 年凯美特气归母净利润0.9 亿元,同比-4.9% .......... 31

图57:2019 年凯美特气毛利率46.8% ....... 31

图58:2019 年凯美特气液态二氧化碳收入占比达41.7% ........... 31

图59:光罩占18 年全球半导体材料市场份额的13% ........ 32

图60:菲利华光掩膜版最终客户为京东方等显示器厂家 ........... 32

图61:菲利华近5 年营收稳健增长 ........... 33

图62:2019 年菲利华归母净利润1.9 亿元,同比+18.7% ........... 33

图63:19 年菲利华石英玻璃材料收入占比过半,并向制品拓展 ....... 33

图64:2019 年菲利华毛利率49.7%,净利率24.7% ........... 33

图65:清溢光电处在光罩领域国内顶尖、国际一流水平 ........... 34

图66:2019 年清溢光电营收4.8 亿元,同比+17.7% .......... 34

图67:2019 年清溢光电归母净利润0.7 亿元,同比+12.2% ....... 34

图68:2019 年清溢光电毛利率33.6% ....... 35

图69:清溢光电近5 年石英掩模版收入占比逐年上升 ...... 35

图70:2019 年芯源微营收2.1 亿元,同比+1.5% ....... 36

图71:2019 年芯源微归母净利润0.3 亿元,同比-3.9% ..... 36

图72:2019 年芯源微毛利率46.6% ........... 36

图73:2019 芯源微光刻工序涂胶显影设备收入占比约为54% ........... 36

图74:精测电子近十年营收CAGR 高达+71.2% .......... 37

图75:精测电子近十年归母净利润CAGR 高达+52.0% ....... 37

图76:精测电子近十年毛利率维持在45%以上 ......... 37

图77:精测电子19 年AOI 光学检测系统营收占比近四成 ......... 37

图78:精测电子半导体前、后道测试设备订单密集落地 ........... 38

图79:2019 年赛腾股份营收12.1 亿元,同比+33.3% ........ 39

图80:2019 年赛腾股份归母净利润1.2 亿元,同比+1.1% ......... 39

图81:2019 年赛腾股份毛利率44.9%,净利率10.7% ....... 39

图82:2019 年赛腾股份自动化设备收入占比79.6% .......... 39

图83:上海微电子SSA600/20 与ASML 的PAS5500 系列产品比较...... 42

表 目 录

表1:2019 年台积电先进制程(28nm 及以内)收入占比达67% ......... 3

表2:预计2024 年14 纳米及以下更先进制程全球市场规模将达386 亿美元 ...... 3

表3:光刻机产业链包含光刻机组件、配套材料和设备 ...... 4

表4:光刻机内部结构复杂 ......... 5

表5:ASML 主要供应商 ...... 5

表6:浸没式技术难点均已被ASML 解决 ........... 11

表7:EUV 光刻机的新挑战基本被ASML 解决 ............ 14

表8:ASML 通过收购打通EUV 产业链 ...... 15

表9:ASML 下游客户及收入占比估算 ....... 16

表10:“02 专项”目标 ..... 17

表11:“02 专项”支持的光刻机及其组件项目 .......... 18

表12:“02 专项”支持的光刻配套材料与设备项目 ........... 18

表13:国科精密Epolith A075 曝光系统(物镜组)关键指标达到国际先进水平 ......... 19

表14:国内企业在不同光刻胶领域国产化情况 ......... 22

表15:国内外主要光刻胶厂商量产情况 ............ 23

表16:国内其他半导体光刻胶公司生产研发情况 ..... 30

表17:清溢光电产品介绍 ......... 33

表18:睿励科学产品介绍 ......... 38

表19:Optima 产品介绍 ............ 40

表20:上海微电子光刻机产品介绍 ........... 41

表21:上海微电子光刻机产品介绍 ........... 43

表22:上海微电子产品和技术突破 ........... 44

表23:推荐公司盈利预测与评级(2020.6.17) ......... 46


[报告关键词]:   ASML    光刻  

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