量检测公司科磊分析报告( 24 页)

量检测公司科磊分析报告( 24 页)


目录

1. 检测设备贯穿每一步骤的过程工艺控制,全球市场空间超百亿美元 .... 5

1.1. 半导体量测设备:对各环节工艺参数指标进行测量.... 5

1.2. 半导体检测设备:分为光学与电子束技术,对图形缺陷进行检查....... 8

1.3. 前道测试设备市场空间超百亿美元,未来采购需求有望大幅上修..... 10

2. 科磊市占率高达52%,是国产替代路上的最大阻力之一....... 12

2.1. 科磊是全球量测领域龙头,产品贯穿前道工艺过程控制全流程 .... 12

2.2. 国内量检测设备厂已逐步实现出货,细分领域吹响国产替代号角..... 17

2.2.1. 上海精测:量检测领域均有涉及,产品线覆盖面较广 ..... 17

2.2.2. 上海睿励:主要覆盖膜厚及OCD 量测,逐渐向缺陷检测领域拓展 ..... 18

2.2.3. 中科飞测:产品已进入国内多条生产线 ...... 19

2.2.4. 东方晶源:EBI 和CD-SEM 领域填补国内关键空缺 .... 20

2.3. 部分细分领域国内厂商已实现突破,科磊仍占据垄断地位 ....... 21

3. 从科磊发展路径看对国内半导体检测设备企业的借鉴意义 .... 22

3.1. 第一阶段(1977~1990):挖掘市场需求,快速进入量测市场 .... 22

3.2. 第二阶段(1990~1997):运营进一步细化,产品放量加速.... 23

3.3. 第三阶段(1997~2021):大幅进行并购,外延内生协同发展 .... 23

4. 风险提示...... 24

图表目录

图1:量测各环节测试的参数和主要的技术与设备 ...... 5

图2:薄膜材料厚度.... 6

图3:四探针台....... 6

图4:椭圆偏振技术.... 6

图5:关键尺寸示意图 .... 7

图6:CD-SEM 原理图 ....... 7

图7:套刻误差对准示意图 ..... 7

图8:缺陷检测图示.... 8

图9:明/暗场图形缺陷检测原理图...... 9

图10:明/暗场图形缺陷检测设备示意图..... 9

图11:无图形表面检测系统原理图 ..... 9

图12:KLA Surfscan 示意图 ...... 9

图13:睿励FSD 系列设备 ....... 10

图14:宏观缺陷检测设备示意图 ...... 10

图15:电子束缺陷检测原理图...... 10

图16:电子束缺陷检测示意图...... 10

图17:全球半导体设备市场规模及增速.....11

图18:中国大陆半导体设备市场规模及增速......11

图19:前道量测设备中各类设备占比 ....11

图20:前道测试设备中各类设备占比 ....11

图21:KLA2017-2021 财年营业收入及增速 ..... 12

图22:KLA2017-2021 财年归母净利润及增速 ..... 12

图23:KLA2019-2021 财年收入按业务拆分 ..... 13

图24:KLA2019-2021 财年各业务收入占比 ..... 13

图25:前道量测/检测设备全球市场竞争格局.... 14

图26:KLA 在各个环节的市占率...... 14

表1:未来国内晶圆厂产能及规划..... 12

表2:KLA 主要量测设备产品 ....... 13

表3:日立高新的半导体检测仪器..... 15

表4:Onto Innovation 检测设备产品 .... 16

表5:上海精测主要量测设备产品..... 17

表6:上海睿励主要量测设备产品..... 19

表7:中科飞测主要检测设备产品..... 20

表8:东方晶源主要测试设备产品..... 21

表9:长江存储采购主要量测设备统计...... 21

表10:长江存储主要采购检测设备统计.... 22

表11:KLA 并购历史 ....... 23


[报告关键词]:   科磊    半导体检测  
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